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Algorithm for Sub-Pixel Detection of Fringe Image Displacement Based on Gray-Level Interpolation 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2021, 卷号: 41, 期号: 10
作者:  S. Li;  X. Gao;  Z. Liu and W. Hu
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Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:  Dong, Guanji;  Tang, Feng;  Wang, Xiangzhao;  Feng, Peng;  Guo, Fudong;  Peng, Changzhe
浏览  |  Adobe PDF(4169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：283/105  |  提交时间：2019/09/17
Interferometry  CCD cameras  Diffraction  Imaging systems  Measurement  Uncertainty analysis  
Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Compensation effect of radial preload on mirror deformation caused by gravity 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:  Jia, S.;  W. Huang;  X. Xu and C. Yao
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Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:  Yao, C. and Y. Gong
Adobe PDF(1605Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：237/49  |  提交时间：2017/09/11
Extreme ultraviolet lithography objective design based on grouping and graphical user interface 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 12
作者:  Wang, J.;  L. Wang;  C. Jin;  L. Miao and Y. Xie
浏览  |  Adobe PDF(4381Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：239/86  |  提交时间：2016/08/24