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音圈快速反射镜的完全跟踪控制 期刊论文
光学精密工程, 2020, 卷号: 28, 期号: 09, 页码: 1997-2006
作者:  王福超;  王昱棠;  田大鹏
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快速反射镜  音圈电机  完全跟踪控制  滑模变结构控制  
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/129  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜  
大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 01, 页码: 108-114
作者:  秦硕;  巩岩;  袁文全;  杨怀江
caj(2080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：412/86  |  提交时间：2014/03/07
投影物镜  温度控制  串级控制  大时滞  模型预测  前馈补偿