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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：210/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  樊孝贺
caj(4313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：172/0  |  提交时间：2020/08/24
短相干  菲索型  动态干涉仪  条纹图配准  相位解包裹  误差补偿  
菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  毛石磊
Adobe PDF(3933Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/2  |  提交时间：2016/04/11
菲索干涉仪  移相器  微位移  柔性铰链  压电陶瓷  
干涉仪的仪器传递函数检测方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙鸽
Adobe PDF(2452Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：432/2  |  提交时间：2014/03/15
菲索型干涉仪  干涉仪的仪器传递函数  空间频率响应特性  标准测试板  
Φ100mm高重复性波长移相干涉仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  文刚
Adobe PDF(2678Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：447/2  |  提交时间：2014/03/15
波长移相干涉仪  可调谐半导体激光器  迭代最小二乘法  两帧差分平均移相算法  移相步长标定