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纳结构的连续激光复合微纳探针刻划加工 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 2043-2050
作者:  程柏;  韩冰;  谷立山;  陈晓苹;  杨立军
caj(550Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：276/74  |  提交时间：2016/07/06
纳结构  微纳探针  连续激光  刻划  近场效应  
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(1313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/163  |  提交时间：2016/07/06
光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统  
大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 745-752
作者:  糜小涛;  于宏柱;  于海利;  姚雪峰;  宋楠;  冯树龙;  齐向东
caj(388Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：374/105  |  提交时间：2016/07/06
光栅刻划机  衍射光纤  双拉杆结构  单拉杆结构  石英导轨  
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者:  杨超;  于海利;  张善文;  于宏柱;  李晓天;  唐玉国
caj(1321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/126  |  提交时间：2016/07/06
光栅  刻划光栅  光栅波前  刻线位置误差  转角误差  压电驱动器