Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 纳结构的连续激光复合微纳探针刻划加工 | |
| 程柏; 韩冰; 谷立山; 陈晓苹; 杨立军 | |
| 2015-07-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 07页码:2043-2050 |
| 摘要 | 为了加工形貌稳定且尺寸尽可能小的纳结构,建立了一套连续激光复合微纳探针的加工系统,并研究了光纤探针导光的连续激光辐照微纳探针的近场增强效应以及该系统的加工性能。首先,根据表面等离子体激元理论仿真分析了激光辐照原子力显微镜(AFM)探针的近场增强因子,并研究了微纳探针的针尖温度场和针尖热膨胀。接着,搭建了基于光纤探针导光的连续激光复合微纳探针的纳结构加工系统。最后,对聚乙烯片状材料样品进行了纳结构加工。结果显示:加工得到的纳米点尺度为200nm左右;纳米线的尺度为30~40nm。结果表明:光纤探针导光连续激光复合微纳探针系统避免了复杂的空间光路结构,是一种成本低廉,结构简单的系统,能够实现纳结构的加工。 |
| 关键词 | 纳结构 微纳探针 连续激光 刻划 近场效应 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54031 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 程柏,韩冰,谷立山,等. 纳结构的连续激光复合微纳探针刻划加工[J]. 光学精密工程,2015(07):2043-2050. |
| APA | 程柏,韩冰,谷立山,陈晓苹,&杨立军.(2015).纳结构的连续激光复合微纳探针刻划加工.光学精密工程(07),2043-2050. |
| MLA | 程柏,et al."纳结构的连续激光复合微纳探针刻划加工".光学精密工程 .07(2015):2043-2050. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 纳结构的连续激光复合微纳探针刻划加工.c（550KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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