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30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量 期刊论文
真空科学与技术, 2000, 期号: 06, 页码: 45-46
作者:  刘毅楠;  马月英;  斐舒;  尼启良;  胡卫兵;  曹健林
caj(18Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：458/81  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  离子束溅射  二级衍射峰  
软X射线投影光刻技术 期刊论文
强激光与粒子束, 2000, 期号: 05, 页码: 559-564
作者:  金春水;  王占山;  曹健林
caj(131Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：436/77  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  投影光刻  集成电路  
软X射线狭缝透射光栅谱仪的研制 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 03, 页码: 254-257
作者:  陈志伟;  王占山;  牛惠辉
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软x射线  狭缝光栅  光谱分辨率  
Mo/B_4C软X射线多层膜结构特性研究 期刊论文
光子学报, 2000, 期号: 05, 页码: 459-461
作者:  吕俊霞;  马月英;  裴舒;  陈星旦;  曹健林
caj(77Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：441/61  |  提交时间：2013/03/11
Mo/b_4c  多层膜  软x射线  
软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 02, 页码: 124-127
作者:  刘毅楠;  马月英;  裴舒;  胡卫兵;  曹健林
caj(68Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：463/68  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  曲面基片  误差分析  
长波长软X射线多层膜的设计与制备 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 04, 页码: 10-11
作者:  王国田
caj(114Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/95  |  提交时间：2013/03/11
多层膜:7841  软x射线:5696  长波长:1722  离子束:1191  反射率计:682  软x射线光学:620  反射镜:575  正入射:458  扩展x射线吸收精细结构:419  膜系设计:341  
软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70
作者:  金春水;  王占山;  曹健林
caj(116Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：390/51  |  提交时间：2013/03/11
软x射线投影光刻  多层膜反射镜  软x射线投影光刻原理装置  激光等离子体光源