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大口径主镜位置的实时检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2721-2729
作者:  李剑锋;  吴小霞;  李玉霞;  刘昌华
caj(546Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/122  |  提交时间：2017/09/17
望远镜  主镜  位置解算算法  主镜位置  在线检测  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/102  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
大口径SiC离轴非球面的高效磨削加工 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2497-2505
作者:  殷龙海;  王孝坤;  李龙响;  李丽富;  张志宇;  郑立功;  张学军
caj(564Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：258/67  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  Sic离轴非球面  快速磨削  超声复合磨削  在线检测  
利用微机串口进行TMS320C25的在线编程 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 05, 页码: 425-427
作者:  李桂菊
caj(47Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/36  |  提交时间：2013/03/11
数字信号处理器  Tms320c25  在线编程  
石油产品芳烃含量在线紫外分析仪的研制 期刊论文
光学精密工程, 1998, 期号: 05, 页码: 81-85
作者:  白万红;  陈军;  漆随平;  张岱宗;  苗春安
caj(50Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：432/63  |  提交时间：2013/03/11
芳烃  在线分析  紫外分光  全息光栅双单色仪  
等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 03, 页码: 91-96
作者:  米宝永
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：254/47  |  提交时间：2013/03/11
等离子  反应离子  刻蚀终点  在线监测  光学反射法  
FSGJ-1非球面自动加工及在线检测系统 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 02, 页码: 71-77
作者:  张学军;  张云峰;  余景池;  张忠玉
caj(106Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：373/77  |  提交时间：2013/03/11
非球面  自动加工  在线检测  
大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测──等离子发射光谱法 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 75-80
作者:  米宝永
caj(257Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：563/94  |  提交时间：2013/03/11
等离子体  发射光谱  在线监测  刻蚀  大规模集成电路  终点  
光学玻璃的磨削加工方法 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 01, 页码: 53-58
作者:  王平;  张春河;  张飞虎;  袁哲俊;  周兵林;  韩荣久
caj(479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：465/73  |  提交时间：2013/03/11
光学玻璃  准光学表面  在线电解修整