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激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 33-38
作者:  熊木地;  谭久彬;  邢忠宝
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平稳驱动  机电混合滤波器  锁相环速度控制  模糊参数自调整  
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26
作者:  鞠挥;  张平;  王淑荣;  吴一辉
caj(46Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：429/58  |  提交时间：2013/03/11
(111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  微制造  Mems  湿法腐蚀  
极紫外投影光刻掩模技术 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 03, 页码: 16-21+41
作者:  杨雄;  金春水;  曹健林
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极紫外  投影光刻  多层膜  掩模  
磁悬浮进给机构的PID控制及仿真试验 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 03, 页码: 62-65
作者:  宋文荣;  于国飞;  何惠阳
caj(38Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：411/59  |  提交时间：2013/03/11
磁悬浮  进给机构  直线电机  Pid控制  仿真  
PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 02, 页码: 54-58
作者:  白兰;  吴一辉;  张平;  王淑荣
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：352/62  |  提交时间：2013/03/11
微泵  Pdms薄膜  Ndfeb薄片  电磁驱动  
六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 15-21
作者:  宋文荣;  于国飞;  王延风;  何惠阳;  田兴志
caj(77Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/46  |  提交时间：2013/03/11
光刻  磁悬浮  X-y工件台  定位精度  步进扫描  逐场调平调焦  
双转子平面微电机定子制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80
作者:  梁静秋;  郭占社;  吴一辉;  王淑荣;  张平;  宣明
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双转子  平面微电机  定子  孔引线  准liga技术