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激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 33-38
作者:  熊木地;  谭久彬;  邢忠宝
收藏  |  浏览/下载：350/0  |  提交时间：2013/03/11
平稳驱动  机电混合滤波器  锁相环速度控制  模糊参数自调整