Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外投影光刻掩模技术 | |
杨雄; 金春水 ; 曹健林
| |
| 2003-09-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 03页码:16-21+41 |
| 关键词 | 极紫外 投影光刻 多层膜 掩模 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29983 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨雄,金春水,曹健林. 极紫外投影光刻掩模技术[J]. 微细加工技术,2003(03):16-21+41. |
| APA | 杨雄,金春水,&曹健林.(2003).极紫外投影光刻掩模技术.微细加工技术(03),16-21+41. |
| MLA | 杨雄,et al."极紫外投影光刻掩模技术".微细加工技术 .03(2003):16-21+41. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 极紫外投影光刻掩模技术.caj（88KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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