Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究 | |
熊木地; 谭久彬; 邢忠宝 | |
2003-12-30 | |
发表期刊 | 微细加工技术 |
期号 | 04页码:33-38 |
关键词 | 平稳驱动 机电混合滤波器 锁相环速度控制 模糊参数自调整 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29385 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊木地,谭久彬,邢忠宝. 激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究[J]. 微细加工技术,2003(04):33-38. |
APA | 熊木地,谭久彬,&邢忠宝.(2003).激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究.微细加工技术(04),33-38. |
MLA | 熊木地,et al."激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究".微细加工技术 .04(2003):33-38. |
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