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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Linearity calibration platform of capacitive sensors
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:
Zhang, D.-F.
;
C. Ge
;
X.-L. Li
;
M.-Y. Ni and K. Guo
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提交时间:2017/09/11
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:
徐象如
;
黄玮
;
贾树强
;
徐明飞
caj(1710Kb)
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提交时间:2016/07/06
成像系统
投影光刻物镜
热像差
元件位移
分区加热
Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor
期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988
作者:
Zhang, D.
;
C. Ge
;
X. Li
;
M. Ni
;
K. Guo and P. Li
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提交时间:2016/08/24
空间相机空间环境专项试验设计
期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 12
作者:
孙天宇
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提交时间:2012/05/11
温度对遥感器光学系统成像质量的影响
学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:
巩盾
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提交时间:2013/03/01
一种测量位移量的光学细分干涉方法 (发明)
专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 1048333, 申请日期: 2000-01-12, 公开日期: 2000-01-12
发明人:
廖江红
;
卢振武
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提交时间:2012/09/14
双光路光电定心及测量装置 (发明)
专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 1989-08-16, 公开日期: 1989-08-16
发明人:
周长新
;
刘自能
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提交时间:2012/09/14