Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种测量位移量的光学细分干涉方法 （发明） | |
廖江红; 卢振武
| |
| 2000-01-12 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
| 公开日期 | 2000-01-12 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属于非接触位移传感器技术领域，涉及精密线位移和角位移计量的光学细分干涉方法。它是利用周期性变化的分光元件位移时，在其一个分光元件上完成光的分束和合束而形成干涉条纹，使得位移传动装置机械精度的要求降低，减轻了光学元件调整难度，并且使测量量的灵敏度提高若干倍…… |
| 申请日期 | 1994-10-14 |
| 专利号 | 1048333 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 94117263.5 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12642 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 廖江红,卢振武. 一种测量位移量的光学细分干涉方法 （发明）. 1048333[P]. 2000-01-12. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN199600112066200000（282KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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