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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
作者
杨海贵 [4]
文献类型
期刊论文 [4]
发表日期
2018 [4]
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Guangxue J... [1]
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光子学报 [1]
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文献类型:期刊论文
作者:杨海贵
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基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者:
匡尚奇
;
张超
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
;
周洪军
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浏览/下载:224/0
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提交时间:2019/09/17
光学多层膜
膜系设计
量子遗传算法
宽带极紫外多层膜
离散化设计
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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浏览/下载:519/157
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Extreme ultraviolet lithography
Fabrication
Mirrors
Reflection
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Zhang, Chao
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
Adobe PDF(1699Kb)
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浏览/下载:513/124
  |  
提交时间:2019/09/17
Quantum theory
Fabrication
Genetic algorithms
Magnetron sputtering
Multilayers
Reflection
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
匡尚奇
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
;
周洪军
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浏览/下载:184/0
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提交时间:2019/09/17
多层膜设计
极紫外
离散化设计
宽带多层膜