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光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
caj(1531Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：538/117  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
高成像质量光学系统的元件旋转补偿 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 128-134
作者:  刘春来;  黄玮;  尚红波;  许伟才;  杨旺
caj(3907Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：436/93  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  高成像质量  旋转补偿  材料筛选  波前像差  
用于激光光束检测的夏克-哈特曼传感器参量设计 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 03, 页码: 302-306
作者:  刘敏时;  王晓曼;  景文博;  王斌
caj(375Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：505/154  |  提交时间：2014/03/07
传感器  夏克-哈特曼波前传感器  激光光束质量  微透镜阵列设计