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用于激光光束检测的夏克-哈特曼传感器参量设计
刘敏时; 王晓曼; 景文博; 王斌
2013-03-10
发表期刊光学学报
期号03页码:302-306
摘要夏克-哈特曼波前传感器因其可以同时测量激光的强度及相位信息,已广泛用于激光光束质量检测中。根据实际检测的要求,设计夏克-哈特曼传感器系统的参数是构建检测系统的重要一环。综合考虑了夏克-哈特曼传感器的动态范围、灵敏度和精度等要求及其相互制约问题,进行了夏克-哈特曼传感器的参数设计。说明了具体的指标设计过程,并根据设计指标,研制了激光光束检测系统。系统实际达到的单孔径的动态范围为3.7λ(λ=632.8nm),灵敏度为0.01λ,菲涅耳数为2.468,符合激光光束检测系统的要求。
关键词传感器 夏克-哈特曼波前传感器 激光光束质量 微透镜阵列设计
收录类别CNKI
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38584
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
刘敏时,王晓曼,景文博,等. 用于激光光束检测的夏克-哈特曼传感器参量设计[J]. 光学学报,2013(03):302-306.
APA 刘敏时,王晓曼,景文博,&王斌.(2013).用于激光光束检测的夏克-哈特曼传感器参量设计.光学学报(03),302-306.
MLA 刘敏时,et al."用于激光光束检测的夏克-哈特曼传感器参量设计".光学学报 .03(2013):302-306.
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