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光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者:  张成山;  孟庆孔
caj(242Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/68  |  提交时间：2015/04/17
光电式光栅刻划机  衍射光栅干涉仪  莫尔条纹  
一种全息光栅曝光系统结构 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 639-644
作者:  撖芃芃
caj(420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：298/67  |  提交时间：2015/04/17
全息光栅  波前质量  模态分析  稳定性  
离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 628-632
作者:  吴娜
caj(209Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/91  |  提交时间：2015/04/17
衍射效率  刻蚀模拟  全息光栅  
光栅刻划系统等速凸轮机构设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 511-515
作者:  宋楠
caj(323Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：266/73  |  提交时间：2015/04/17
等速凸轮  光栅刻划  振动  
光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 506-510
作者:  冯树龙
caj(255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/104  |  提交时间：2015/04/17
光栅刻划机  滚柱导轨  爬行  
光栅刻划机导向导轨支撑结构刚度优化设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 495-499
作者:  姚雪峰;  糜小涛;  宋楠
caj(806Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：495/93  |  提交时间：2015/04/17
光栅刻划机  刚度  有限元分析  模态  
大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 1, 页码: 42-45
作者:  糜小涛
caj(267Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/94  |  提交时间：2015/04/17
衍射光栅刻划机  刀架导轨  静力学分析