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应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者:  李华东;  齐克奇;  石强;  王少鑫;  王智
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精密驱动  尺蠖运动  压电驱动器  驱动力  位移分辨率  
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:  代晓珂;  金春水;  于杰
caj(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：366/109  |  提交时间：2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析