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空间平面反射镜组件销钉预紧的非线性分析 期刊论文
光子学报, 2016, 期号: 2, 页码: 140-145
作者:  李梦庆;  张雷;  李宗轩;  邢利娜;  贾学志
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空间遥感器  光学系统  非线性分析  空间平面反射镜  面形分析  
用等效应力法分析温度变化对胶粘反射镜面形的影响 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 12, 页码: 101-106
作者:  李文杰;  王少鑫;  穆全全;  杨程亮;  曹召良;  宣丽
caj(1207Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:676/150  |  提交时间:2016/07/06
光学检测  光学元件  面形分析  胶粘反射镜  温度变化  强迫位移约束  Zygo干涉仪  
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:  彭海峰;  孙振
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:316/123  |  提交时间:2015/04/17
光刻物镜  光学元件  精密轴向调节  面形分析  柔顺铰链  固有频率特性  
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:  彭海峰;  巩岩;  赵磊
caj(1322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:456/110  |  提交时间:2014/03/07
光刻投影物镜  多弹片支撑结构  自重变形  面形分析  
静电拉伸薄膜反射镜的面形分析 期刊论文
红外与激光工程, 2012, 期号: 10, 页码: 2758-2762
作者:  张鹏;  金光;  马宏财;  张元;  钟兴;  贾学志
caj(1241Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:616/148  |  提交时间:2013/03/11
薄膜反射镜  面形分析  非均匀载荷  成形控制