Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用等效应力法分析温度变化对胶粘反射镜面形的影响 | |
李文杰; 王少鑫 ; 穆全全; 杨程亮; 曹召良; 宣丽
| |
| 2015 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 期号 | 12页码:101-106 |
| 摘要 | 基于等效应力法分析了温度变化对反射镜面形准确度的影响.对反射镜粘接处施加一定量的径向强迫位移约束,使其受到与热应力大小一致的应力作用,在该强迫位移约束下反射镜面形变化与热应力作用下反射镜面形变化基本一致.对直径为70mm、厚度为15mm的反射镜进行粘接实验,用ZYGO干涉仪测定温变前后反射镜的面形变化.当温度由20℃降到16℃时,反射镜面形峰谷值和均方根值的变化量分别为0.005λ和0.002λ(λ=632.8nm),理论计算的峰谷值和均方根值变化量分别为0.004λ和0.002λ;当温度由20℃升高到30℃时,反射镜面形峰谷值和均方根值变化量分别为0.013λ和0.006λ,理论计算的峰谷值和均方根值变化量分别为0.012λ和0.004λ,实验值和模拟分析值基本一致. |
| 关键词 | 光学检测 光学元件 面形分析 胶粘反射镜 温度变化 强迫位移约束 Zygo干涉仪 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54242 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文杰,王少鑫,穆全全,等. 用等效应力法分析温度变化对胶粘反射镜面形的影响[J]. 光子学报,2015(12):101-106. |
| APA | 李文杰,王少鑫,穆全全,杨程亮,曹召良,&宣丽.(2015).用等效应力法分析温度变化对胶粘反射镜面形的影响.光子学报(12),101-106. |
| MLA | 李文杰,et al."用等效应力法分析温度变化对胶粘反射镜面形的影响".光子学报 .12(2015):101-106. |
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| 用等效应力法分析温度变化对胶粘反射镜面形（1207KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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