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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [2]
作者
巩岩 [1]
薛金来 [1]
李佃蒙 [1]
文献类型
期刊论文 [3]
发表日期
2018 [1]
2013 [1]
1998 [1]
语种
中文 [1]
出处
中国光学 [1]
表面技术 [1]
长春工业大学学报(自... [1]
资助项目
收录类别
CNKI [1]
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微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
作者:
戴岑
;
巩岩
;
张昊
;
李佃蒙
;
薛金来
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浏览/下载:373/0
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提交时间:2019/09/17
共焦显微
微分干涉差
标量衍射
膜层结构
缺陷探测
大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究
期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2013, 期号: 02, 页码: 195-199
作者:
张方程
;
于海利
;
周敬萱
caj(300Kb)
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浏览/下载:580/136
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提交时间:2014/03/07
镀膜机
中阶梯光栅
膜层均匀性
金属表面膜层连接的几个技术问题
期刊论文
表面技术, 1998, 期号: 06, 页码: 24-26+51
作者:
龚晓辉
;
刘慎和
caj(1173Kb)
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浏览/下载:3080/240
  |  
提交时间:2013/03/11
金属
膜层
连接