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大型空间望远镜次镜调整机构精度分析与测试 期刊论文
光学精密工程, 2019, 卷号: 27, 期号: 11, 页码: 2374-2383
作者:  赵海波;  赵伟国;  董吉洪;  杨维帆;  刘奉昌;  周平伟;  姜萍
caj(474Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:310/82  |  提交时间:2020/08/24
大型空间望远镜  次镜调整机构  误差模型  精度分析  精度测试  
狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  董世则
收藏  |  浏览/下载:310/0  |  提交时间:2017/09/17
狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试  
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:319/123  |  提交时间:2015/04/17
上海同步辐射光源  X射线干涉光刻  偏转镜  结构设计  精度测试