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| 高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 沈晨
 caj(7770Kb) |  收藏 | 浏览/下载：219/0 | 提交时间：2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机 三维工作台 凸面光栅 摆动刻蚀 硅改性RB-SiC |
| 宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1978-1983
作者: 吴娜; 谭鑫; 于海利; 张方程
 caj(393Kb) | 收藏 | 浏览/下载：484/153 | 提交时间：2016/07/06
全息光栅 宽波段光栅 离子束刻蚀 刻蚀模拟 |
| 反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 239-243
作者: 谭鑫
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衍射效率 反应离子束刻蚀 粗糙度 罗兰光栅 |
| 基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308
作者: 谭鑫; 沈晨; 吴娜; 张方程; 巴音贺希格
caj(754Kb) | 收藏 | 浏览/下载：509/144 | 提交时间：2014/03/07
凹面光栅 闪耀光栅 分区法 衍射效率 离子束刻蚀 |
| 闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 09, 页码: 1904-1912
作者: 吴娜; 谭鑫; 巴音贺希格; 唐玉国
caj(1195Kb) | 收藏 | 浏览/下载：524/109 | 提交时间：2013/03/11
闪耀光栅 全息光栅 衍射效率 刻蚀模拟 离子束刻蚀 |
| 基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者: 李文昊; 巴音贺希格; 齐向东
caj(275Kb) | 收藏 | 浏览/下载：475/88 | 提交时间：2012/09/25
全息光栅 光刻胶热熔法 离子束刻蚀 原子力显微镜 |
| 亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作 期刊论文
光子学报, 2003, 期号: 06, 页码: 653-656
作者: 曹召良 ; 陆广; 王吉增; 杨柏; 卢振武; 李凤有; 任智斌; 刘玉玲
caj(67Kb) | 收藏 | 浏览/下载：457/102 | 提交时间：2013/03/11
离子束刻蚀 亚微米 离子能量 束流密度 刻蚀速率 表面光洁度 |
| 二元光学透镜在超光谱成像仪中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 02, 页码: 157-161
作者: 于斌; 曹召良; 禹秉熙
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超光谱成像仪 二元光学透镜 成像光谱仪 折衍混合透镜 离子束刻蚀 |
| 菲涅耳透镜制作及其在CCD相机中的应用 期刊论文
量子电子学报, 2001, 期号: S1, 页码: 32-35
作者: 李红军; 卢振武; 廖江红; 翁志成
caj(401Kb) | 收藏 | 浏览/下载：359/72 | 提交时间：2013/03/11
Ccd相机 菲涅耳透镜 离子束刻蚀 薄膜沉积 衍射效率 |
| 离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜 期刊论文
微细加工技术, 2001, 期号: 01, 页码: 26-29
作者: 李红军; 卢振武; 廖江红; 翁志成; 王乃强; 刘金声
caj(30Kb) | 收藏 | 浏览/下载：476/90 | 提交时间：2013/03/11
衍射光学元件 离子束刻蚀 菲涅耳透镜 衍射效率 |
