Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作 | |
曹召良 ; 陆广; 王吉增; 杨柏; 卢振武; 李凤有; 任智斌; 刘玉玲
| |
| 2003-06-25 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 期号 | 06页码:653-656 |
| 关键词 | 离子束刻蚀 亚微米 离子能量 束流密度 刻蚀速率 表面光洁度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28934 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹召良,陆广,王吉增,等. 亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作[J]. 光子学报,2003(06):653-656. |
| APA | 曹召良.,陆广.,王吉增.,杨柏.,卢振武.,...&刘玉玲.(2003).亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作.光子学报(06),653-656. |
| MLA | 曹召良,et al."亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作".光子学报 .06(2003):653-656. |
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