CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证
吴娜; 谭鑫; 巴音贺希格; 唐玉国
2012-09-15
发表期刊光学精密工程
期号09页码:1904-1912
关键词闪耀光栅 全息光栅 衍射效率 刻蚀模拟 离子束刻蚀
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28013
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
吴娜,谭鑫,巴音贺希格,等. 闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证[J]. 光学精密工程,2012(09):1904-1912.
APA 吴娜,谭鑫,巴音贺希格,&唐玉国.(2012).闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证.光学精密工程(09),1904-1912.
MLA 吴娜,et al."闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证".光学精密工程 .09(2012):1904-1912.
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