Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜 | |
李红军; 卢振武 ; 廖江红; 翁志成; 王乃强; 刘金声
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| 2001-03-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
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| 期号 | 01页码:26-29 |
| 关键词 | 衍射光学元件 离子束刻蚀 菲涅耳透镜 衍射效率 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29848 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李红军,卢振武,廖江红,等. 离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜[J]. 微细加工技术,2001(01):26-29. |
| APA | 李红军,卢振武,廖江红,翁志成,王乃强,&刘金声.(2001).离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜.微细加工技术(01),26-29. |
| MLA | 李红军,et al."离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜".微细加工技术 .01(2001):26-29. |
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