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| 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文
压电与声光, 2017, 页码: 260-264
作者: 张轲; 苗斌; 丁祥桢; 顾智琦; 潘天龙; 李加东; 吴东岷; 张秋菊
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高频硅基超声雾化器 有限元分析 谐振频率 变幅杆 微机电系统 |
| 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者: 苗斌; 李加东; 张轲; 吴东岷
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力值计量 悬臂梁 弹性系数 微机电系统 绝缘衬底上的硅(Soi) |
| 随机并行梯度下降算法在激光束整形中的应用 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 2, 页码: 260-266
作者: 刘磊 ; 郭劲; 赵帅; 姜振华; 孙涛; 王挺峰
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随机并行梯度下降算法 激光束整形 微机械薄膜变形镜 性能指标 |
| 高g_n值微加速度开关设计 期刊论文
传感器与微系统, 2009, 期号: 5
作者: 杨会玲; 杨会伟; 王军
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微机电系统 微引信 微加速度开关 |
| 微型光谱仪的发展 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 01, 页码: 30-37
作者: 鞠挥; 吴一辉
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微型光谱仪 微机电系统 微光学 微制造技术 |
| 应用CCD成像技术测量直升机旋翼共锥度 期刊论文
长春理工大学学报, 2002, 期号: 04, 页码: 23-25
作者: 林为才; 乔彦峰; 孙宁
caj(29Kb) | 收藏 | 浏览/下载：452/77 | 提交时间：2013/03/11
Ccd成像 旋翼共锥度 微机控制 |
| 硅光栅技术 期刊论文
光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15
作者: 栾光辉; 刘剑
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硅光栅:8344 衍射光栅:2782 各向异性刻蚀:2681 制作工艺:2002 光刻胶:1650 闪耀光栅:1645 微机械:1511 微细加工技术:1326 多晶硅:1050 反射光栅:922 |
| 微光机电系统国内外研究进展 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5
作者: 梁静秋
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微光机电系统:9087 涡轮喷气发动机:2324 国内外研究:1475 微型机电系统:1430 微机器人:1346 微结构:1222 微加速度计:1182 微制造技术:1089 微驱动器:986 微机械:962 |
| 条带式CCD像机及光学拼接 期刊论文
半导体光电, 1999, 期号: 06, 页码: 382-384
作者: 王文生; 刘广利; 刘立欣
caj(33Kb) | 收藏 | 浏览/下载：449/71 | 提交时间：2013/03/11
Ccd像机 光学拼接 数字拼接 帧相关 微机 准实时测量 |
| 准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 05, 页码: 63-66
作者: 梁静秋; 姚劲松
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准分子激光 直接刻蚀 微机械零件 |
