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极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：420/136  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：446/81  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
磁悬浮微进给机构电磁场研究 期刊论文
电光与控制, 2004, 期号: 03, 页码: 23-25
作者:  杨秀华;  王延风;  卢志山
caj(50Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：453/81  |  提交时间：2013/03/11
Cad/cae  磁悬浮  直线电机  光刻机  有限元法  
100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展 期刊论文
光机电信息, 2004, 期号: 05, 页码: 20-24
作者:  董吉洪;  田兴志;  李志来;  王明哲
caj(666Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：506/70  |  提交时间：2013/03/11
光刻机  工件台  掩模台