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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
浏览  |  Adobe PDF(3802Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：499/161  |  提交时间：2021/07/06
原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
浏览  |  Adobe PDF(2105Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/76  |  提交时间：2021/07/06
薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤 期刊论文
激光技术, 2014, 期号: 3, 页码: 302-306
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  邓文渊;  靳京城
caj(4080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/83  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  激光损伤  氟化物  聚集密度  电场强度分布  
紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-27, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  邓文渊;  金春水;  靳京城;  常艳贺
Adobe PDF(534Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：598/129  |  提交时间：2012/08/29
一种深紫外光学薄膜处理装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-05-02, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  邓文渊;  金春水;  常艳贺;  靳京城
Adobe PDF(415Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：623/85  |  提交时间：2012/08/29
ＡｒＦ激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-05-02, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  邓文渊;  金春水;  靳京城
Adobe PDF(1152Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：512/83  |  提交时间：2012/08/29
辐照密度高均匀性的ＡｒＦ激光薄膜元件损伤测试装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-28, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  邓文渊;  金春水;  常艳贺;  靳京城
Adobe PDF(549Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：566/83  |  提交时间：2012/08/29
离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 2884-2890
作者:  邓文渊;  金春水
Adobe PDF(773Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：694/214  |  提交时间：2012/05/11
红外警戒系统的探测概率计算 期刊论文
红外与激光工程, 2011, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 1856-1861
作者:  贾庆莲;  邓文渊
Adobe PDF(753Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：492/149  |  提交时间：2012/05/11
用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 1002005
作者:  邓文渊;  金春水
Adobe PDF(830Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：579/182  |  提交时间：2012/05/11