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一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL201110212311.0, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11
发明人:  倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全
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一种用于光学测量的积分球装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-11, 公开日期: 2012-04-11
发明人:  巩岩;  倪明阳;  赵磊;  张巍;  王学亮;  袁文全
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一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
Adobe PDF(479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：573/81  |  提交时间：2012/08/29
一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  巩岩;  张巍;  倪明阳;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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高精度物镜波纹管致动器的线性分析 期刊论文
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者:  袁文全;  巩岩;  张巍;  王学亮;  倪明阳;  赵磊
Adobe PDF(544Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：605/220  |  提交时间：2012/05/11
高精度物镜波纹管致动器的线性度分析 期刊论文
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者:  袁文全;  巩岩;  张巍;  王学亮;  倪明阳;  赵磊
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：516/159  |  提交时间：2013/03/11
高精度物镜  气动  波纹管  几何非线性  有限单元法  
一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
发明人:  赵磊;  巩岩;  倪明阳;  张巍;  王学亮;  袁文全
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一种光学元件重力变形的补偿装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-04-13, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  袁文全;  巩岩;  张巍;  倪明阳;  王学亮;  赵磊
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光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计 期刊论文
光电工程, 2011, 卷号: 38, 期号: 1, 页码: 60-63
作者:  袁文全;  巩岩;  张巍;  王学亮;  赵磊;  倪明阳
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