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光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/131  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制  
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：278/2  |  提交时间：2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:  代晓珂;  金春水;  于杰
caj(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：425/136  |  提交时间：2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析