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为讲好科技故事搭建更好的平台 期刊论文
科技导报, 2020, 卷号: 38, 期号: 20, 页码: 26-27
作者:  曹健林
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期刊界  科学技术部  教育部  国家新闻出版署  
软X射线掠入射望远镜的成像质量评价 期刊论文
光学精密工程, 2019, 卷号: 27, 期号: 10, 页码: 2136-2143
作者:  刘鹏;  陈波;  张亚超;  何玲平;  王孝东
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X射线光学  掠入射望远镜  像质评价  表面散射  面形误差  
极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  王依
caj(7582Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:294/0  |  提交时间:2019/09/23
极紫外  X射线  增反膜  碳沉积  等离子体去除  
平面圆孔微通道板用于X射线聚光的理论预测 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 09, 页码: 394-402
作者:  赵大春;  陈波;  刘鹏;  张宏吉
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X射线光学  微通道板  相对光照度增益  Trace Pro仿真  
同步辐射光束线水平偏转压弯机构关键技术研究及性能测试 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  高飒飒
Adobe PDF(5260Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:373/1  |  提交时间:2014/08/21
极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  鹿国庆
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高准直高辐照强度的太阳模拟技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  吕涛
Adobe PDF(6841Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:300/1  |  提交时间:2014/08/21
 LED集成阵列芯片理论及关键工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  包兴臻
Adobe PDF(3149Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:430/2  |  提交时间:2014/03/15
Led阵列  隔离槽  出光效率  Mems技术  
X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(977Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:677/131  |  提交时间:2013/03/11
X射线光学  功率密度分布  热平衡  面形误差  有限元分析  
极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  卢增雄
caj(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:576/107  |  提交时间:2013/03/11
X射线光学  极紫外光刻  分辨率增强  离轴照明阴影效应  光刻胶