| 软X射线掠入射望远镜的成像质量评价 |
| 刘鹏 ; 陈波; 张亚超; 何玲平; 王孝东
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| 2019
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| 发表期刊 | 光学精密工程
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| 卷号 | 27期号:10页码:2136-2143 |
| 摘要 | 为了评价软X射线掠入射望远镜的成像质量,提出了一种利用ZEMAX和MATLAB相结合的像质评价方法。根据这种方法编写的像质评价程序不仅考虑了孔径衍射、几何像差和装调误差等因素对成像质量的影响,而且加入了望远镜面形误差和X射线散射效应的影响。利用勒让德-傅里叶多项式和用户自定义表面,在ZEMAX中建立带有面形误差的筒状反射镜表面模型,实现对真实面形的掠入射反射镜的仿真;根据Harvey-Shack散射理论建立了ZEMAX中的BSDF散射模型,实现对X射线散射的仿真。搭建X射线有限远成像实验装置,对像质评价程序进行了验证。实验结果和仿真结果对比表明:实验光斑和仿真光斑的光强分布基本一致,以实验结果为基准,仿真光斑的半高全宽横向和纵向的相对误差分别为14.7%和11.3%。说明像质评价程序的仿真结果基本符合真实情况,对掠入射光学系统的设计和加工具有一定的指导意义。 |
| 关键词 | X射线光学
掠入射望远镜
像质评价
表面散射
面形误差
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63565
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| 专题 | 中科院长春光机所知识产出
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
刘鹏,陈波,张亚超,等. 软X射线掠入射望远镜的成像质量评价[J]. 光学精密工程,2019,27(10):2136-2143.
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| APA |
刘鹏,陈波,张亚超,何玲平,&王孝东.(2019).软X射线掠入射望远镜的成像质量评价.光学精密工程,27(10),2136-2143.
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| MLA |
刘鹏,et al."软X射线掠入射望远镜的成像质量评价".光学精密工程 27.10(2019):2136-2143.
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格式：
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