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三级公自转行星系统中弯月透镜表面膜厚均匀性的研究 期刊论文
光学学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 10, 页码: 264-272
作者:  张静;  陈延涵;  朱忠尧;  付秀华;  张功;  齐双阳;  常艳贺;  杨飞;  金海俊;  陆致远
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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：155/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  孙梦至
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中阶梯光栅  高质量铝膜  大面积均匀性  多步沉积  
Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者:  Wang, H.;  F. Zhou;  B. Yu;  Y. Xie;  J. Yu;  Y. Liu and L. Wang
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