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| Calibration Method of Pattern Place Error-Induced Wavefront Distortion with Complex-Phase Computer-Generated Holograms 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2023, 卷号: 43, 期号: 8 作者: H. Zhang, L. Xu and C. Xie
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| 平面镜子孔径加权拼接检测算法(特邀) 期刊论文 红外与激光工程, 2021, 卷号: 50, 期号: 10, 页码: 18-23 作者: 闫力松; 张斌智 ; 王孝坤 ; 黎发志
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| Subaperture stitching testing to flat mirror based on weighting algorithm (Invited) 期刊论文 Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2021, 卷号: 50, 期号: 10 作者: L. Yan; B. Zhang; X. Wang and F. Li
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐
caj(6271Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:283/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文 中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180 作者: 张璐; 向阳![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:248/0  |  提交时间:2019/09/17 测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 |
| Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8 作者: Zhang, Lu; Xiang, Yang![](/image/person.jpg)
浏览  |   Adobe PDF(685Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:326/127  |  提交时间:2019/09/17 Shearing Aberrations Errors Interferometers Measurement Wavefronts |
| 猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 201-206 作者: 苏东奇 ; 苗二龙 ; 曲艺 ; 隋永新![](/image/person.jpg)
caj(3041Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:415/132  |  提交时间:2016/07/06 测量 光学检测 猫眼 菲索干涉仪 波前 |
| 非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 05, 页码: 242-248 作者: 陈新东 ; 李锐刚
caj(1254Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:324/97  |  提交时间:2016/07/06 光学制造 非球面检测 几何参数测量 激光跟踪仪 |
| 基于重力补偿的立式三平板绝对检测(英文) 期刊论文 光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99 作者: 苏东奇 ; 田伟 ; 苗二龙 ; 隋永新 ; 杨怀江![](/image/person.jpg)
caj(941Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:249/73  |  提交时间:2016/07/06 光学检测 绝对检测 干涉术 重力变形 有限元方法 计算仿真 |
| Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303 作者: Han, D.-S.; X. He; Z.-H. Wei and Y.-M. Li
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