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一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110449616.3, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  张海涛;  于杰;  马冬梅;  金春水
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基于焦面图像信息的波前探测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  马鑫雪
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S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  赵菲菲
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计算机辅助装调  S-h波前传感器  投影光刻物镜  质心探测精度  阈值选取  
制作平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉系统 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 56-63
作者:  巴音贺希格;  崔继承;  李文昊;  齐向东
Adobe PDF(1626Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：538/192  |  提交时间：2012/05/11
平面全息光栅单反射镜曝光系统波前像差特性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  邵先秀
Microsoft Word(1591Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：228/2  |  提交时间：2013/02/28
一个干涉图法波面位相自动探测 期刊论文
半导体光电, 1997, 期号: 03, 页码: 37-40
作者:  王文生
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泰曼干涉仪  干涉图  Ccd摄像机  特性测试  
用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化 期刊论文
仪器仪表学报, 1989, 期号: 01, 页码: 43-47
作者:  王文生
caj(175Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：293/39  |  提交时间：2013/03/11
干涉测长:5101  自动测试:4008  测试技术:3576  干涉系统:3379  计算机控制:3193  测试结果:2548  物体:2276  电视监视器:2067  参考反射镜:2036  仪器仪表:1838