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基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
作者:  于长淞;  齐克奇;  张春雷;  向阳
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/155  |  提交时间：2014/03/07
剪切干涉  光栅移相  压电陶瓷  有限元  
光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455
作者:  齐克奇;  向阳
caj(1097Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：540/125  |  提交时间：2013/03/11
光刻投影物镜  波像差  相移测量  桥式放大机构  有限元  
一种二自由度微位移精密定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-01, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  齐克奇;  向阳
Adobe PDF(836Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：775/135  |  提交时间：2012/08/29