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二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
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二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
Overview of 2D grating displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:  Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
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Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
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菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  毛石磊
Adobe PDF(3933Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/2  |  提交时间：2016/04/11
菲索干涉仪  移相器  微位移  柔性铰链  压电陶瓷  
压电陶瓷系统迟滞非线性建模与控制的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙孔政
Adobe PDF(2255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：408/3  |  提交时间：2014/03/15
压电陶瓷  迟滞特性  Duhem模型  逆补偿  Labview Fpga  
非接触式微扭矩测量装置 （发明） 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 1088838, 申请日期: 2002-08-07, 公开日期: 2002-08-07
发明人:  吴一辉;  贾宏光
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压电驱动微位移工作台动态特性分析 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 05, 页码: 440-443
作者:  贾宏光;  吴一辉;  于振雷;  王立鼎
caj(71Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：553/55  |  提交时间：2013/03/12
压电陶瓷  微位移工作台  动态特性分析  
一种微位移工作台 （实用新型） 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2379242, 申请日期: 2000-05-24, 公开日期: 2000-05-24
发明人:  何惠阳;  田兴志
Adobe PDF(162Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/38  |  提交时间：2012/09/14