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新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文
压电与声光, 2017, 页码: 260-264
作者:  张轲;  苗斌;  丁祥桢;  顾智琦;  潘天龙;  李加东;  吴东岷;  张秋菊
caj(479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/147  |  提交时间：2018/04/09
高频硅基超声雾化器  有限元分析  谐振频率  变幅杆  微机电系统  
毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者:  苗斌;  李加东;  张轲;  吴东岷
caj(295Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/119  |  提交时间：2017/09/17
力值计量  悬臂梁  弹性系数  微机电系统  绝缘衬底上的硅(Soi)  
随机并行梯度下降算法在激光束整形中的应用 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 2, 页码: 260-266
作者:  刘磊;  郭劲;  赵帅;  姜振华;  孙涛;  王挺峰
caj(361Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/114  |  提交时间：2015/04/17
随机并行梯度下降算法  激光束整形  微机械薄膜变形镜  性能指标  
高g_n值微加速度开关设计 期刊论文
传感器与微系统, 2009, 期号: 5
作者:  杨会玲;  杨会伟;  王军
caj(306Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/82  |  提交时间：2012/09/25
微机电系统  微引信  微加速度开关  
微型光谱仪的发展 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 01, 页码: 30-37
作者:  鞠挥;  吴一辉
caj(1127Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/59  |  提交时间：2013/03/11
微型光谱仪  微机电系统  微光学  微制造技术  
应用CCD成像技术测量直升机旋翼共锥度 期刊论文
长春理工大学学报, 2002, 期号: 04, 页码: 23-25
作者:  林为才;  乔彦峰;  孙宁
caj(29Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/66  |  提交时间：2013/03/11
Ccd成像  旋翼共锥度  微机控制  
硅光栅技术 期刊论文
光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15
作者:  栾光辉;  刘剑
caj(1040Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：439/71  |  提交时间：2013/03/11
硅光栅:8344  衍射光栅:2782  各向异性刻蚀:2681  制作工艺:2002  光刻胶:1650  闪耀光栅:1645  微机械:1511  微细加工技术:1326  多晶硅:1050  反射光栅:922  
微光机电系统国内外研究进展 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5
作者:  梁静秋
caj(1887Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/66  |  提交时间：2013/03/11
微光机电系统:9087  涡轮喷气发动机:2324  国内外研究:1475  微型机电系统:1430  微机器人:1346  微结构:1222  微加速度计:1182  微制造技术:1089  微驱动器:986  微机械:962  
条带式CCD像机及光学拼接 期刊论文
半导体光电, 1999, 期号: 06, 页码: 382-384
作者:  王文生;  刘广利;  刘立欣
caj(33Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：420/67  |  提交时间：2013/03/11
Ccd像机  光学拼接  数字拼接  帧相关  微机  准实时测量  
准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 05, 页码: 63-66
作者:  梁静秋;  姚劲松
caj(53Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：495/50  |  提交时间：2013/03/11
准分子激光  直接刻蚀  微机械零件