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九步相移抗串扰算法的相移误差分析 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 21-23
作者:  方超
caj(1304Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：544/155  |  提交时间：2013/03/11
横向剪切干涉仪  九步相移算法  相移误差  
高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140
作者:  王辉;  于杰;  周烽;  王丽萍
caj(551Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：623/147  |  提交时间：2013/03/11
测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑  
丝杠螺母副轴向窜动误差分析及测量系统设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 397-401
作者:  姚雪峰;  于海利;  冯树龙;  齐向东
caj(281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：602/144  |  提交时间：2013/03/11
丝杠螺母副  精密仪器  轴向窜动  误差分析  非接触式测量  双频激光干涉仪  
可见光移相点衍射干涉仪的空气扰动误差分析 期刊论文
红外与激光工程, 2012, 期号: 07, 页码: 1899-1904
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(553Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：496/90  |  提交时间：2013/03/11
空气扰动误差  十三步移相算法  移相点衍射干涉仪  光学检测  
照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 82-88
作者:  卢增雄;  金春水;  马冬梅
caj(2131Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：528/118  |  提交时间：2013/03/11
光学设计  点衍射干涉仪  矢量衍射  照明物镜像差  波面偏差  强度均匀性  
可见光移相点衍射干涉仪的测试误差分析 期刊论文
红外与激光工程, 2012, 期号: 05, 页码: 1351-1356
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(786Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：549/109  |  提交时间：2013/03/11
误差分析  十三步移相算法  移相点衍射干涉仪  光学检测  
基于干涉仪测量的变形镜面形展平标定研究 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 05, 页码: 511-515
作者:  林旭东;  刘欣悦;  王建立;  卫沛锋;  王富国
caj(358Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/83  |  提交时间：2013/03/11
自适应光学  变形镜  展平标定  干涉仪  
双球面法标定立式参考球面的精度分析 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 03, 页码: 527-533
作者:  谷勇强;  苗二龙;  隋永新
caj(455Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：495/126  |  提交时间：2013/03/11
双球面法  立式参考球面  绝对测量  重力变形  Fizeau干涉仪  
点衍射干涉仪波前参考源标定算法的研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 03, 页码: 177-183
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(983Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：499/85  |  提交时间：2013/03/11
测量  标定算法  波前参考源  相移点衍射干涉仪