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具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:  赵磊;  彭海峰;  于新峰;  东立剑
caj(657Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：335/79  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56
作者:  陈华男;  郭抗;  张玲花;  刘健;  尚红波
caj(1453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：294/81  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  X-y向柔性调节机构  减速机构  柔性铰链