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Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 期刊论文
物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225
作者:  赵永蓬;  徐强;  肖德龙;  丁宁;  谢耀;  李琦;  王骐
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极紫外光刻光源  毛细管放电  磁流体力学  Xe等离子体  
“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 544-550
作者:  姜振华;  王挺峰;  郭劲
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极紫外光源  Co2激光器  参数监测  指向控制  
紫外光刻光源设计与分析 期刊论文
机械工程师, 2013, 期号: 06, 页码: 15-16
作者:  谭向全
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紫外光刻光源  散热  快门  位置调节  
单光源高精度正交十字形激光标定装置设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2013, 期号: 03, 页码: 691-697
作者:  安源;  钟兴;  贾学志;  金光
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十字形激光  单激光源  正交