已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: 201210206727.6, 申请日期: 2014-08-20, 公开日期: 2014-08-20 发明人: 赵磊; 巩岩; 倪明阳; 孙振 浏览  |  Adobe PDF(1336Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:414/117  |  提交时间:2015/02/10 |
| 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13 发明人: 赵磊; 巩岩; 张巍; 倪明阳 Adobe PDF(364Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:438/51  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13 发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵阳; 赵磊 Adobe PDF(639Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:628/47  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种用于光学测量的积分球装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-11, 公开日期: 2012-04-11 发明人: 巩岩; 倪明阳; 赵磊; 张巍; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(786Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:470/71  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28 发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(465Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:604/84  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:480/60  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 巩岩; 张巍; 倪明阳; 赵磊; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(590Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:690/77  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种投影物镜系统中光学元件调心装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-24, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 巩岩; 赵磊; 张巍; 倪明阳 Adobe PDF(646Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:345/44  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17 发明人: 赵磊; 巩岩; 倪明阳; 张巍; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:565/70  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种光学元件重力变形的补偿装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-04-13, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 袁文全; 巩岩; 张巍; 倪明阳; 王学亮; 赵磊 Adobe PDF(391Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:404/66  |  提交时间:2012/08/29 |