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光学元件表面缺陷对高斯光束的调制作用研究 期刊论文
, 2016
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹
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高斯光束  振幅调制  相位调制  角谱  
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/101  |  提交时间：2017/09/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差  
Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang and M. Pan
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