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掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波
caj(1563Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：278/89  |  提交时间：2017/09/17
光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析  
非接触式扫描反射镜转角测量系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 4, 页码: 850-855
作者:  王洋;  颜昌翔;  胡春晖;  汪逸群;  顾志远;  张达;  张新洁
caj(602Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/108  |  提交时间：2015/04/17
光谱成像仪  扫描镜  非接触测量  角度测量  多项式拟合  误差分析  
莫尔条纹光电信号正交性偏差的实时补偿 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 1, 页码: 213-219
作者:  高旭;  万秋华;  赵长海;  孙莹;  杨守旺
caj(365Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：488/122  |  提交时间：2015/04/17
光电轴角编码器  莫尔条纹  正交性偏差  希尔伯特变换  实时补偿  
用彩色CCD相机测量发光二极管显示屏的色度 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 03, 页码: 575-582
作者:  赵梓权;  王瑞光;  郑喜凤;  汪洋
caj(1151Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：475/214  |  提交时间：2014/03/07
发光二极管显示屏  彩色ccd相机  自适应矩阵  色度测量  亮度测量