Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 非接触式扫描反射镜转角测量系统 | |
王洋; 颜昌翔 ; 胡春晖; 汪逸群; 顾志远; 张达; 张新洁
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| 2014-04-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 4页码:850-855 |
| 摘要 | 为了提高扫描反射镜转角检测系统的测角范围,建立了基于一字线激光器和线阵CCD的高精度非接触式扫描镜角度检测系统。介绍了检测系统的结构和工作原理,该系统根据激光光斑在CCD上的位置计算扫描反射镜的转角,并利用特殊设计的阵列反射镜增大测角范围。为了降低对加工及装调精度的要求,对系统进行了误差分析,给出了采用多项式拟合法进行角度测量的理论依据。讨论了影响系统检测精度的一系列误差源,计算了系统测量的总误差。最后进行了相关的测量实验。实验结果表明:系统的检测系统分辨率为2.5″,测角范围为11°,测角精度可达3″,可以满足扫描反射镜对角度测量系统提出的高精度、非接触、大测角范围的要求。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 光谱成像仪 扫描镜 非接触测量 角度测量 多项式拟合 误差分析 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42798 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王洋,颜昌翔,胡春晖,等. 非接触式扫描反射镜转角测量系统[J]. 光学精密工程,2014(4):850-855. |
| APA | 王洋.,颜昌翔.,胡春晖.,汪逸群.,顾志远.,...&张新洁.(2014).非接触式扫描反射镜转角测量系统.光学精密工程(4),850-855. |
| MLA | 王洋,et al."非接触式扫描反射镜转角测量系统".光学精密工程 .4(2014):850-855. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 非接触式扫描反射镜转角测量系统.caj（602KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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