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1.8 m空间长条反射镜柔性支撑技术研究 期刊论文
中国光学(中英文), 2022, 卷号: 15, 期号: 05, 页码: 1079-1091
作者:  李宗轩;  张昌昊;  张德福;  马斌;  李云峰
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Optimization of Circular-axis Flexure Hinge by Considering Material Selection and Geometrical Configuration Simultaneously 期刊论文
Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering, 2017, 卷号: 53, 期号: 9
作者:  Cao, Y.;  Z. Wang;  C. Zhou and W. Wang
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应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文
科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127
作者:  鹿国庆;  吴义恒;  李伶俐;  卢启鹏
caj(280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/158  |  提交时间：2017/09/17
极紫外光刻  光刻胶  平衡关系  材料设计  
General modeling and optimal design of flexure supporting structure for optical components 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 11
作者:  Cao, Y.-Y.;  Z.-C. Wang;  C. Zhou;  L. Fan;  X.-D. Han and Y.-Z. Zhang
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Thermal control system of carbon dioxide detection instrument 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 1053-1061
作者:  Li, Y.;  Q.-W. Wu;  L.-H. Chen;  Y. Huang and H.-W. Liu
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薄膜反射镜静电成形机理研究 期刊论文
光学精密工程, 2009, 卷号: 2, 期号: 17, 页码: 267
作者:  张鹰
caj(392Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：283/49  |  提交时间：2012/09/25