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大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/94  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位  
基于杠杆模式施载的圆弧刃光栅刻画刀具刃磨机床研制 期刊论文
机械工程学报, 2016, 期号: 9, 页码: 201-207
作者:  吉日嘎兰图;  李晓天;  刘凯;  张善文;  巴音贺希格;  齐向东;  唐玉国
caj(610Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：484/130  |  提交时间：2017/09/17
杠杆模式  圆弧刃  光栅刻画刀  刃磨机床  
Development of arc-edge tool lapping machine for grating ruling based on leverage load mode 期刊论文
Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering, 2016, 卷号: 52, 期号: 9
作者:  Jirigalantu;  X. Li;  K. Liu;  S. Zhang;  Bayanheshig;  X. Qi and Y. Tang
浏览  |  Adobe PDF(745Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/87  |  提交时间：2017/09/11
Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
浏览  |  Adobe PDF(791Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：352/112  |  提交时间：2017/09/11
Design of the controller of the micro-positioning system for large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 473-480
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  J. Gao;  H. Yu;  S. Zhang and X. Qi
浏览  |  Adobe PDF(672Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：379/100  |  提交时间：2016/08/24
磁悬浮微进给机构电磁场研究 期刊论文
电光与控制, 2004, 期号: 03, 页码: 23-25
作者:  杨秀华;  王延风;  卢志山
caj(50Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/78  |  提交时间：2013/03/11
Cad/cae  磁悬浮  直线电机  光刻机  有限元法  
磁悬浮微进给机构的PID控制 期刊论文
哈尔滨工业大学学报, 2004, 期号: 01, 页码: 28-31
作者:  宋文荣;  于国飞;  王延风;  何惠阳;  韩红霞
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：453/92  |  提交时间：2013/03/11
磁悬浮  微进给机构  直线电机  Pid控制  电磁阻尼  时变  
磁悬浮微进给机构研究 期刊论文
中国机械工程, 2003, 期号: 13, 页码: 16-19+3
作者:  宋文荣;  于国飞;  王延风;  何惠阳
caj(166Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：335/49  |  提交时间：2013/03/11
磁悬浮  微进给机构  直线电机  超洁净  进给精度  
轨迹成型法加工光学零件磨床中的微进给电控装置的研究 期刊论文
光学技术, 1999, 期号: 02, 页码: 27-28+96
作者:  贾宏光;  朴承镐
caj(55Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/76  |  提交时间：2013/03/11
超精密磨削  微进给  电控装置  
轨迹成形法加工光学零件磨床微进给电控装置的研究 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1998, 期号: 03, 页码: 23-25+43
作者:  贾宏光;  刘薇娜;  朴承镐
caj(28Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/66  |  提交时间：2013/03/11
超精密磨削  微进给  电控装置