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静电场辅助的微压印光刻技术 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 663-671
作者:  刘民哲;  王泰升;  李和福;  刘震宇;  陈佐龙;  鱼卫星
caj(769Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：412/121  |  提交时间：2018/04/09
静电场  压印  微纳结构  两相流  
Hydrostatic support system for in-situ optical testing of a 4 m aperture SiC mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10
作者:  Hu, H.-F.;  H.-W. Zhao;  Z.-Y. Liu;  X. Luo and X.-J. Zhang
Adobe PDF(556Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：304/104  |  提交时间：2018/06/13
Electrostatic field assisted micro imprint lithography technology 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 3
作者:  Liu, M.-Z.;  T.-S. Wang;  H.-F. Li;  Z.-Y. Liu;  Z.-L. Chen and W.-X. Yu
Adobe PDF(947Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：336/87  |  提交时间：2018/06/13
超大口径光学制造的静压支撑系统集成与控制 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 256-264
作者:  胡海飞;  罗霄;  戚二辉;  胡海翔;  郑立功
caj(5315Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：432/86  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  均力静压支撑  调整精度  超大口径反射镜  在线加工检测  
微光机电机械系统（MOEMS）技术及其应用 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 期号: 11
作者:  李红光
Adobe PDF(254Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：484/157  |  提交时间：2012/05/11