Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微光机电机械系统（MOEMS）技术及其应用 | |
| 李红光 | |
| 2011-10-10 | |
| 发表期刊 | 传感器与微系统
 |
| ISSN | 100-9787 |
| 期号 | 11 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3188 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李红光. 微光机电机械系统（MOEMS）技术及其应用[J]. 传感器与微系统,2011(11). |
| APA | 李红光.(2011).微光机电机械系统（MOEMS）技术及其应用.传感器与微系统(11). |
| MLA | 李红光."微光机电机械系统（MOEMS）技术及其应用".传感器与微系统 .11(2011). |
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